可达到亚埃级，常用于纳米材料精准表征，获取微观原子排布，微区结构和元素分布信息。可得到高分辨率像(HRTEM)，单原子图像，haddf(高角环形暗场)，eels(电子能量损失谱), mapping等。

工业CT是应用于工业领域的计算机断层扫描技术。它是以不损伤被检测对象的性能为前提的一种无损检测技术，主要应用于航空航天、军工、土木建工等大尺寸铸件检测，一般分辨率是在3μm以上。